上海一家叫朗道硅光的初创企业，展示了自主研发的 EUV 极紫外光源原型机。 据公司介绍，这套系统采用激光等离子体技术，输出功率超过 15W，约 90% 的部… · @Moonquakes_ai · TwKit

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上海一家叫朗道硅光的初创企业，展示了自主研发的 EUV 极紫外光源原型机。 据公司介绍，这套系统采用激光等离子体技术，输出功率超过 15W，约 90% 的部件实现国产化。 但是光源只是其中一个关键子系统，后面还有反射光学、晶圆台、精密控制等一系列难题。 而且这次展示并没有现场运行验证，距离真正用于芯片量产还有很长的路。 但我觉得这个方向值得持续关注。 半导体设备的发展，很多时候就是这样，一个子系统、一个子系统慢慢攻克。 比起夸张的突破标题，我更期待哪天能看到完整设备稳定运行的数据。 不过我觉得真的能做一个国产的光刻机还是太困难了

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