前面聊过光刻机在运输路上怕颠簸，其实等光刻机运进台积电或三星的晶圆厂装好之后，工程师防震的手段更加夸张。 因为要在指甲盖大小的硅片上刻出几纳米的电路，哪怕晶… · @chakmillion · TwKit

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前面聊过光刻机在运输路上怕颠簸，其实等光刻机运进台积电或三星的晶圆厂装好之后，工程师防震的手段更加夸张。 因为要在指甲盖大小的硅片上刻出几纳米的电路，哪怕晶圆厂一公里外的高速公路上开过一辆重型大卡车，地面传过来的微弱震动都会让光刻机的激光束直接描歪报废。 为了把大地的震动彻底隔绝开，建一座百亿美元的晶圆厂时，工程师根本不会把无尘车间直接盖在地基上，而是采用了一种“楼中楼悬浮结构”：他们先在地下打好深达几十米的基岩桩，然后在上面架起成百上千根独立的巨型气动弹簧减震柱，把整座重达几万吨、底部浇筑成华夫饼格子状的无尘核心车间，像悬浮孤岛一样硬生生托在半空中，跟外面的大楼外墙和地面留出几厘米完全不挨着的隔离缝！ 哪怕外面发生有感地震或者狂风暴雨把大楼外壳吹得晃动，里面悬空车间里的光刻机照样稳如泰山连一微米都不晃。

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